我们在燕郊经济技术开发区建立的首条具有产业化生产规模的铌酸锂调制器和

InGaAs探测器及模块生产线，拥有100级、1万级、10万级的净化厂房约2700㎡，有先

进、完整的生产设备，大部分的设备从国外进口，不仅为生产同时也为研发工作提供

了便利的条件。

我们在铌酸锂器件生产技术方面在国内处于领先的位置，可以实现高速器件从

芯片设计制作、耦合封装，到提供产品组件全过程。我们拥有成熟的技术和工艺，特

别是在10Gb/s铌酸锂调制器方面拥有自主开发的技术，如：低损耗波导的制作技术；

光纤波导永久性粘接技术；高频管壳的设计技术；高起偏器与器件波导的集成等。同

时，我们还对可靠性预测、检测、设计技术等均进行了长期的技术跟踪与工艺创新，

初步形成了规模生产的工艺流程、质量控制、检测并进一步研发创新的能力。

在光电探测器技术领域不断创新以满足用户的需求，我们开发的10Gb/s光接收

组件采用自主开发的技术有：高速探测器芯片表面钝化技术；补偿Zn扩散技术；高频

微波传输线设计制作；微波封装及金属化光纤耦合等。